电子工业净化车间重点参数

B50472-2013洁净厂房设计规范

GB50472-2008-电子工业洁净厂房设计规范

GB50515-2010导（防）静电地面设计规范 

■ 服务领域：精密电子、半导体、LED、测试与封装、光导纤维、锂电池等。

■ 重点注意事项：

1、人流

1-1、人员净化

1-2、洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时，应设气闸室；

1-3、单人空气吹淋室，应按最大班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设单向旁通门；

1-4、空气吹淋室的进、出门不得同时开启，应采取连锁控制措施；

1-5、空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室，宜设气闸室。

2、物流

2-1、洁净室内的设备和物料出入口，应独立设置，并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施。

2-2、物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。

3、静压差

3-1、不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa；

3-2、洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa；

3-3、洁净室与室外的静压差应大于10Pa。

4、根据生产要求需设计相应防静电设施。

5、电子工业洁净室空气洁净度等级表